氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導體元器件及電力整流裝置的燒結工藝，可進行真空燒結、氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中新穎的技術裝備，設計思路新穎，操作方便，結構緊湊，一臺設備即可完成多個工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護的情況下，利用中頻感應加熱原理，使位于盤管內的鎢坩堝達到高溫，通過熱輻射傳導到工作中，適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進行成型燒結。安裝爐子的場地應符合真空衛生要求，周圍空氣清潔干燥，通風條件好，工作場所不易揚起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內所有零部件及部件是否完好、完好。　　2、控制柜安裝固定在相應的基礎上。　　3、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無誤。　　4、檢查電器活動部位活動自如，無卡死現象。　　5、絕緣電阻不應小于2萬億歐姆。　　6、氣相沉積爐各閥門必須在關閉位置。　　7、控制電源開關置于斷開位置。　　8、手動調壓旋鈕逆時針轉動頭。　　9、將報警按鈕置于打開位置。　　10、平面圖完成設備循環冷卻水連接時，建議用戶在氣相沉積爐總進出水管處再加一層備用水(可用自來水)，防止循環水故障或斷電引起密封圈燃燒。

　　碳化爐的性能與特點： 　　1、爐體采用雙層水冷結構，爐體材料為304不銹鋼，嚴格按照壓力容器標準打造，抗腐蝕和密閉性能好。保溫材料均采用高純度氈，經久耐用。所有電器元器件均采用進口或國內一線品牌，運行可靠。爐膛采用單室，臥式結構，設備布置緊湊合理，占地面積小。 　　2、主要設計針對于石墨烯膜熱處理腐蝕性這一塊專門設計，所有爐體內部及管道均防腐處理，更有效提供使用壽命。 　　3、采用阻性加熱，石墨電極采用等靜壓石墨件、石墨管發熱體壽命長，采用多區加熱方式，溫度均勻性好、對產品受熱均，維護方便。有效調高產品質量。 　　4、先進爐膛設計理念，合理的加熱結構，。先進的控溫系統，進口數顯化智能溫控表，PID智能化程序控制，采用德國西門子PLC及西門子觸摸屏。實現實數據通訊無縫對接，全自動高精度完成測溫控溫過程，系統可按給定升溫曲線升溫或調用存儲工藝曲線，并可貯存四條40段不同的工藝熱處理曲線。 　　5.先進的自動化控制，均由PLC水、電、氣自動控制和保護系統，PLC實現安全連鎖，具有超溫、傳感器斷偶、水壓、爐體超壓等觸摸屏一目了然，操作簡便、明了。