常見問題

聚焦行業動態,洞悉行業發展

氣相沉積爐設備組成
發布時間:2017-11-23   瀏覽:3468次

  氣相沉積爐整體結構采用井式碳化爐結構。主要由爐體系統、控制系統、真空系統、冷卻系統、進氣系統、過濾系統、操作平臺等部分組成組成。

  氣相沉積爐系統主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發熱體、引電體組成,爐殼為圓柱形結構,分爐體和爐頂蓋、爐底三部分,主要使用Q235鋼材,爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結構,夾層內設置蛇形導流板,既可以引導水流流向又可以加強爐體壁抗壓能力,爐體上設置電極座、測溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側壁上。

  加熱及保溫層,發熱體采用帶式合金發熱體,分三個加熱區,三角形加熱,分布在爐腔四周;保溫層:采用全纖維爐襯復合保溫結構,既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能,成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上,操作與維護非常方便。

  氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼,為保證高溫真空下的工作強度,采用雙真空結構。爐膽內外同時抽真空,并設置手動及自動壓差閥。考慮真空放電現象,采用低電壓大電流的供電方式。


免責聲明:本站部分圖片和文字來源于網絡收集整理,僅供學習交流,版權歸原作者所有,并不代表我站觀點。本站將不承擔任何法律責任,如果有侵犯到您的權利,請及時聯系我們刪除。

相關推薦

24 February 2025
操作氣相沉積爐需要遵循哪些安全規范以防止事故發生

操作氣相沉積爐需要遵循哪些安全規范以防止事故發生

 操作氣相沉積爐需要遵循哪些安全規范以防止事故發生氣相沉積爐作為一種高科技設備,在微電子、光電子、能源及航空航天等領域具有廣泛應用。然而,由于其工作原理涉及高溫、高壓和化學反應等危險因素,操作不當極易引發事故。因此,嚴格遵循安全規范是確保操作人員和設備安全的關鍵。 一、設備安裝與準備階段的安全規范1. 穩固安裝:氣相沉積爐必須安裝在穩固的工作臺上,并確保周圍無雜物干擾,以防止設備傾倒或受到外力破壞。2. 全方面檢查:在開始使用前,必須對氣相沉積爐的所有傳感器、配管、電纜等連接部件進行全方面檢查,確保其完好無損,不存在破損、老化等情況。3. 廢氣排放系統:確保設備的廢氣排放系統連接良好,排污管道暢通,以防止廢氣積聚引發中毒或爆炸事故。4. 供電安全:確保氣相沉積爐系統的供電電源符合安全標準,并遵循正確的接線序列,防止電氣火災或觸電事故。 二、操作過程中的安全規范1. 個人防護:操作人員必須穿戴耐高溫手套、安全眼鏡、防護服等個人防護裝備,以防止高溫、化學物質等對人體造成傷害。2. 操作培訓:操作人員必須熟悉氣相沉積爐的使用操作步驟,并經過嚴格的培訓獲得操作許可證和化學品使用許可證,嚴禁未經培訓人員擅自操作設備。3. 溫度監控:在操作過程中必須注意觀察爐內、爐外的溫度,確保爐體不會過熱引發設備故障或火災。4. 禁止危險物品:使用過程中禁止將易燃、易爆、有毒物質等放置在氣相沉積爐附近,以防止意外事故發生。5. 廢氣排放監控:操作過程中應隨時留意廢氣排放系統的工作狀態,確保廢氣正常排放,防止爐內氣體積聚引發中毒或爆炸事故。 三、廢棄物處理與應急處理的安全規范1. 廢棄物處理:使用氣相沉積爐產生的廢棄物必須按照相關規定進行處理,嚴禁隨意傾倒。廢棄物應置于指定的存放容器中,并定期送交專門處理單位進行處理。2. 應急處理:發生氣相沉積爐系統泄漏、損壞或其他突發情況時,操作人員應立即采取行動進行應急處理。同時,操作人員需熟悉應急電話號碼,如有需要及時聯系事故應急救援部門。 四、定期維護與保養的安全規范1. 定期檢查:對氣相沉積爐系統進行定期維護保養,確保設備的正常運行。定期檢查設備的傳感器、配管、電纜等連接部件,發現問題及時更換或修復。2. 清潔保養:定期清潔氣相沉積爐內外部分,確保設備無積塵、雜物等。同時,對廢氣排放系統進行定期檢查,清理堵塞物,確保排污暢通。總之,操作氣相沉積爐需要嚴格遵循上述安全規范以防止事故發生。只有確保設備的安全運行和操作人員的安全健康,才能充分發揮氣相沉積爐在現代科技領域的重要作用。

主站蜘蛛池模板: 国产午夜无码视频免费网站| 亚洲AⅤ无码一区二区三区在线| 久久久久久av无码免费看大片| 国产激情无码一区二区三区| 亚洲AV无码一区东京热| 无码久久精品国产亚洲Av影片| 无码熟妇αⅴ人妻又粗又大| 亚洲精品无码鲁网中文电影| 精品无码专区亚洲| 久久久久亚洲精品无码蜜桃 | 性无码免费一区二区三区在线| 97性无码区免费| 大桥久未无码吹潮在线观看| 久久久精品天堂无码中文字幕 | 精品亚洲A∨无码一区二区三区 | 国产99久久九九精品无码| 无码人妻一区二区三区免费n鬼沢| 国产精品无码一区二区在线| 久久久久久无码Av成人影院 | 国产亚洲?V无码?V男人的天堂 | 亚洲国产精品无码久久久秋霞1 | 久久精品aⅴ无码中文字字幕不卡| 久久青青草原亚洲av无码| MM1313亚洲精品无码久久| 无码区日韩特区永久免费系列| 成人无码AV一区二区| 国产乱子伦精品无码专区 | 国产AV无码专区亚洲AV男同| 人妻少妇无码视频在线| 亚洲AV无码AV男人的天堂不卡| 久久精品国产亚洲AV无码娇色| 日韩丰满少妇无码内射| 无码人妻精品一区二区| 亚洲AV无码成人精品区在线观看| 免费无码H肉动漫在线观看麻豆| 中文字幕人妻三级中文无码视频| YW尤物AV无码国产在线观看| 久久国产精品无码网站| 成人无码WWW免费视频| 国产成人无码一区二区在线播放| 亚洲AV无码乱码在线观看富二代 |