真空燒結(jié)爐的主要特點(diǎn)有哪些呢 　　真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。 　　同時(shí)，真空燒結(jié)爐亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。設(shè)備分為單工位、雙工位及多工位。下面我們就看看它的主要特點(diǎn)： 　　1、關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，具有高可靠性； 　　2、真空燒結(jié)爐具有可編程的升、降溫功能； 　　3、具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能； 　　4、真空燒結(jié)爐具有高抗干擾能力； 　　5、真空甩帶爐具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。

       真空燒結(jié)爐由爐體、爐蓋、保溫桶、熱壓裝置、發(fā)熱體和電源、真空系統(tǒng)、水冷卻系統(tǒng)及測(cè)溫系統(tǒng)等組成。        　　真空燒結(jié)爐爐體全部采用不銹鋼制造，為雙層結(jié)構(gòu)，分內(nèi)外桶體，爐底封頭采用旋壓工藝加工。因?yàn)闊釅貉b置產(chǎn)生的力要由爐體承受，爐體必需具有很高的強(qiáng)度和足夠的剛度，在外力和高溫下不得變形。爐底動(dòng)密封裝置的固定座中心線與爐體上法蘭盤必需垂直，以保證下頂桿運(yùn)動(dòng)的直線度。動(dòng)密土封裝置固定座有良好的冷卻條件，以延長密封件的使用壽命。 　　真空燒結(jié)爐爐蓋由爐蓋體、舉起油缸和上壓頭組成。爐蓋為雙層結(jié)構(gòu)，為承受下頂桿傳遞的壓力，必需具有足夠的強(qiáng)度和剛度。上壓頭的下端工作時(shí)處于高溫區(qū)，必需強(qiáng)制冷卻。 　　保溫桶由隔熱桶、反射桶、保溫層及桶體組成，分別用石墨、鉬片、石墨氈和不銹鋼制作。用鉬片制作的反射桶主要抵御由發(fā)熱元件產(chǎn)生的輻射熱，以免損害保溫層和爐體。 　　真空燒結(jié)爐的熱壓裝置由液壓站、油缸、舉起油缸、下頂桿及控制器組成。液壓站有兩路壓力輸出，一是驅(qū)動(dòng)爐蓋上下運(yùn)動(dòng)，二是驅(qū)動(dòng)熱壓油缸運(yùn)動(dòng)。