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真空燒結爐日常應急策略
發布時間:2017-10-23   瀏覽:3359次

  真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體保護燒結及常規燒結,是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備,它設計構思新穎,操作方便,結構緊湊,在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。下面,洛陽八佳科技小編就為您介紹真空燒結爐的應急措施.

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  一. 冷卻水異常

  1、確認加熱電源已停止。

  2、爐外發生漏水,冷卻水量異常時,應盡快采取應急措施,如能保證水量,請繼續保持真空,如不能采取應急措施,保持原狀,確認設備冷卻下來。

  3、冷卻水發生異常時,設備處于停止狀態,馬上接通緊急用冷卻水。

  4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時,如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。

  二 壓縮空氣的停止

  1、壓縮空氣異常報警時,設備處于停止狀態,應盡快到備用的壓縮機房,讓其恢復工作。

  2、真空中如壓縮空氣異常報警,且恢復需要較長時間時,則終止真空,讓設備停下來。

  三 停電

  1、停電時,如果斷水,應立即接通備用的冷卻水,接通水源。

  2、如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,繼續運轉如需要較長時間,則將設備保持原狀。

  3、如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,如果需要較長時間時,則保持原狀,讓設備自然冷卻下來。

  四 加熱電源掉電

  1、水壓低,當水壓低于0.15MPa,壓力表報警。

  2、接地故障。

  3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。

  4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障,掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。

  五 充氣氣體(氬氣或氮氣)停止

  1、抽真空開始前,氣體充入時間長或者無法充入時,請確認氣體管路是否被堵塞。

  2、如氣體管路沒問題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作,為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。

  3、向真空室內充氣不能停止的情況下,泄壓閥動作如泄壓閥動作時,要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。

  4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會影響制品質量。

  六 真空室壓力惡化

  1、真空排氣時間比通常長時,應把設備停下來進行檢查,根據真空室內構造物不同狀態下放氣的影響,也有導致壓力升高的情況。

  2、通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認是漏氣還有放氣的影響。

  在真空和保護性氣氛中,對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結,要獲得一定密度和具有一定機械性能的材料時,一般采用兩種工藝;即有壓燒結和無壓燒結。有壓燒結工藝是將粉狀材料置于真空和保護性氣氛中的高碳模具中,高溫加熱到軟化狀態時,加壓成型。這種工藝需要一種真空熱壓燒結才能實現。該燒結爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點。目前這種爐型在我國還未見定型產品。

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真空石墨煅燒爐的選材與制造工藝研究

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真空石墨煅燒爐的選材與制造工藝研究在石墨材料加工與制備領域,真空石墨煅燒爐作為核心設備,其選材與制造工藝直接關系到設備的性能、使用壽命以及石墨產品的質量。真空石墨煅燒爐廠家洛陽八佳電氣將從真空石墨煅燒爐的選材原則、關鍵部件材料選擇以及制造工藝研究三個方面進行深入探討。一、選材原則真空石墨煅燒爐的選材需遵循以下原則:耐高溫性:由于煅燒過程中需達到高溫環境,所選材料必須具備良好的耐高溫性能,確保在高溫下不變形、不熔化,保持設備的穩定運行。化學穩定性:石墨材料在高溫下可能與某些物質發生化學反應,因此所選材料需具備良好的化學穩定性,以抵抗高溫下的腐蝕和氧化。導熱性:良好的導熱性能有助于熱量在爐內均勻分布,提高煅燒效率。同時,也能有效防止局部過熱導致的設備損壞。機械強度:真空石墨煅燒爐在工作過程中會受到一定的機械應力,所選材料需具備足夠的機械強度,以承受這些應力,避免設備變形或損壞。成本效益:在保證性能的前提下,還需考慮材料的成本效益,選擇性價比高的材料,以降低生產成本。二、關鍵部件材料選擇爐體材料:爐體是真空石墨煅燒爐的主體部分,需承受高溫和真空環境。因此,爐體材料通常采用高純度石墨或耐高溫合金鋼。高純度石墨具有良好的耐高溫性和導熱性,而耐高溫合金鋼則具有較高的機械強度和耐腐蝕性。加熱元件:加熱元件是煅燒過程中的關鍵部件,直接影響煅燒效率和溫度控制精度。常見的加熱元件有電阻絲、石墨電極等。電阻絲具有加熱速度快、溫度控制精確等優點;石墨電極則具有良好的耐高溫性和導電性,適用于高溫環境下的加熱。真空系統材料:真空系統包括真空泵、真空管道和真空閥門等部件。這些部件需具備良好的密封性和耐腐蝕性,以確保爐內的高真空度。材料上常選用不銹鋼或耐腐蝕合金材料。保溫材料:保溫材料用于減少爐體熱量散失,提高熱效率。常見的保溫材料有硅酸鋁纖維、巖棉等。這些材料具有良好的保溫性能和耐高溫性。三、制造工藝研究真空石墨煅燒爐的制造工藝需綜合考慮材料特性、設備結構和生產工藝要求。以下是一些關鍵制造工藝的研究:爐體制造工藝:爐體制造需經過精密加工和高溫處理。首先,根據設計要求選擇合適的材料并進行切割、焊接等加工;然后,對爐體進行高溫燒結處理,以提高其耐高溫性和機械強度;最后,對爐體進行精密打磨和拋光處理,確保表面光滑無缺陷。加熱元件安裝工藝:加熱元件的安裝需確保其與爐體緊密接觸且分布均勻。在安裝過程中,需采用專用夾具和定位裝置來確保加熱元件的準確安裝;同時,還需對加熱元件進行電阻測試和溫度校準,以確保其加熱效果和溫度控制精度。真空系統密封工藝:真空系統的密封性能對爐內真空度至關重要。在制造過程中,需采用高質量的密封材料和先進的密封技術來確保真空系統的密封性。例如,采用金屬密封墊或O型圈等密封元件來提高密封性能;同時,還需對真空管道和閥門進行嚴格的密封性測試和檢漏處理。整體組裝與調試:在完成各部件的制造和加工后,需進行整體組裝和調試工作。組裝過程中需確保各部件之間的連接緊密且穩固;調試過程中則需對設備的各項性能指標進行測試和校準,以確保設備能夠正常運行并滿足生產要求。綜上所述,真空石墨煅燒爐的選材與制造工藝研究是一個復雜而細致的過程。通過科學合理的選材和精細的制造工藝研究,可以確保真空石墨煅燒爐具備良好的性能和使用壽命,為石墨材料的加工與制備提供有力保障。

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