氣相沉積爐整體結(jié)構(gòu)采用井式碳化爐結(jié)構(gòu)。主要由爐體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、操作平臺(tái)等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統(tǒng)主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發(fā)熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結(jié)構(gòu)，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結(jié)構(gòu)，夾層內(nèi)設(shè)置蛇形導(dǎo)流板，既可以引導(dǎo)水流流向又可以加強(qiáng)爐體壁抗壓能力，爐體上設(shè)置電極座、測(cè)溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側(cè)壁上。 　　加熱及保溫層，發(fā)熱體采用帶式合金發(fā)熱體，分三個(gè)加熱區(qū)，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復(fù)合保溫結(jié)構(gòu)，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護(hù)非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強(qiáng)度，采用雙真空結(jié)構(gòu)。爐膽內(nèi)外同時(shí)抽真空，并設(shè)置手動(dòng)及自動(dòng)壓差閥。考慮真空放電現(xiàn)象，采用低電壓大電流的供電方式。

　　高溫真空燒結(jié)爐使用時(shí)間久了，如果不進(jìn)行合理的維護(hù)保養(yǎng)工作，就會(huì)出現(xiàn)故障，影響使用。要想使設(shè)備使用壽命更長(zhǎng)久，平時(shí)就要做好維護(hù)保養(yǎng)工作。下面，小編就來說說如何保養(yǎng)真空爐。 　　每天工作前，要仔細(xì)檢查各個(gè)零部件，查看高純氮是否充足以及冷卻水路是否通暢。另外，還要看壓縮空氣的壓力是否達(dá)標(biāo)。真空燒結(jié)爐內(nèi)部出現(xiàn)灰塵或不干凈時(shí)，應(yīng)用酒精或汽油濕過的綢布擦拭干凈，并保持干燥。 　　另外，電接頭要保持干凈、緊固，每次開爐前，檢查各電接頭。真空燒結(jié)爐表面要經(jīng)常擦拭，保持清潔干凈。機(jī)械傳動(dòng)件要定期進(jìn)行加油或換油。工作完后，爐體必須保持要求的真空狀態(tài)。 　　燒結(jié)爐在長(zhǎng)期停用后，再次使用時(shí)，要進(jìn)行烘爐。烘爐是正確保養(yǎng)維護(hù)燒結(jié)爐的重要方法之一。只有正確維護(hù)，才能有效延長(zhǎng)工業(yè)爐的使用壽命，確保生產(chǎn)進(jìn)行。